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01微电子工艺基础绪论
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  • 简介:
  • IC流程简介,配合《芯片制造-半导体工艺制程实用教程 第5版》
    本资料共包含以下附件:
    01微电子工艺基础绪论.pdf
    02微电子工艺基础半导体材料和晶圆制备 .pdf
    03微电子工艺基础污染控制和芯片制造基本工艺概述.pdf
    04微电子工艺基础外延工艺.pdf
    05微电子工艺基础氧化工艺.pdf
    06微电子工艺基础化学气相淀积.pdf
    07微电子工艺基础金属淀积.pdf
    08微电子工艺基础光刻工艺.pdf
    09微电子工艺基础掺杂技术.pdf
    10微电子工艺基础封装技术.pdf
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